Хмерные изображения ВИМС

Трехмерный ВИМС, пример которого приведен на рис. 5, дальнейшая развитие ВИМС, объединяющее анализ по глубине и отображения. В методике отображения время исследования распределений отдельных ионов мало (от 1 до 5 с). Это дает возможность циклического получения отображений во время снятия нормального профиля по глубине. Возможны измерения больших и потому репрезентативных объемов (150 x 150 x 10 мкм³) в разумные сроки (1 ч).

В сканирующем режиме последовательное детектирование отдельных пикселей (картина элементов) и вокселей (объемных элементов) приводит к значительному увеличению времени исследования; на практике поэтому исследуются только малые объемы (10 x 10 x 1 мкм³).

Рис. 5. 3D ВИМС исследования распределения V в быстрорежущей стали. Размер 150x150x10 мкм³. Первичные ионы кислорода; энергия пучка 5.5 кэВ; интенсивность первичных ионов 2 мкА.

Рис. 6. Профили распределения по глубине примеси P в Si. Первичные ионы Cs⁺; энергия первичного пучка 14.5 кэВ.