Студопедия

Главная страница Случайная страница

КАТЕГОРИИ:

АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника






Результаты АСМ- исследования. Сбор статистических данных по выборке




 

 

Мы исследовали пленку (AlSiTi)N на атомно-силовом микроскопе Ntegra Aura 6 областей и с помощью image analysis статистически проанализировали поверхность.

 

Расчетные формулы

 

Среднее :

 

Размах высот:

R = (x)(n) – x(1),

 

где R - объем выборки ;x(1) - первая порядковая статистика;x(n) - n-я порядковая статистика

 

Шероховатость:

 

Этот параметр выражает шероховатость поверхности по выбранным пяти максимальным высотам и впадинам

 

Средняя высота:

 

Средняя шероховатость:

Среднее арифметическое отклонение профиля. Среднее отклонение всех точек профиля шероховатости от средней линии на длине оценки

Среднеквадратичная шероховатость:

 

Среднее значение измеренных отклонений от средней линии взятых на длине оценки

 

Асимметрия:

 

Асимметрия (третий центральный момент μ3), характеризует несимметричность распределения. разделение несимметрично. Для симметричного (относительно центра) распределения асимметрия равна нулю. Асимметрия положительна, если распределение имеет длинный правый «хвост», и отрицательна, если распределение имеет длинный левый хвост

 

Эксцесс:

 

Эксцесс (surface kurtosis, четвертый центральный момент μ4), характеризует протяженность распределения

 

 

Энтропия:

 

Область №1 Область №2

 

 

Область №3 Область №4

 

 

Область №5 Область №6

 

Рисунок 12. Области 1,2,3,4,5,6

Таблица 4 - Обработка данных по выборке (AlSiTi)N

 

(AlSiTi)N Область №1 Область №2 Область №3 Область №4 Область №5 Область №6 Среднее {\displaystyle {\bar {x}}\,}
Параметры
Число точек по осям X, Y
Максимальная высота, nm 86,6477 92,4959 86,788 81,548 84,9634 82,3434 85,79773
Минимальная высота, nm
Размах высот, nm 86,6477 92,4959 86,788 81,548 69,3369 58,2486 79,17752
Шероховатость, nm 45,4526 45,2187 43,7917 40,8301 50,6365 52,7325 46,44368
Средняя высота, nm 58,4698 58,7238 60,9471 54,8941 53,8022 53,6163 56,74222
Cредняя шероховатость, nm 10,3929 8,59177 8,90351 8,13467 8,61184 7,44488 8,679928
Второй момент 60,1391 59,8872 62,1385 55,9904 54,8416 54,4022 57,89983
Cредняя квадратичнная шероховатость, nm 14,0712 11,747 12,1097 11,0257 10,6262 9,21417 11,46566
Ассиметрия -1,23534 -1,30425 -1,4349 -1,37704 -0,276461 -0,206511 -0,97242
Эксцесс 1,60797 3,15416 3,25471 3,04912 -0,237052 -0,28401 1,757483
Энтропия 9,74447 9,55716 9,59858 9,4654 9,77475 9,58295 9,620552
Избыточность -0,509918 -0,459814 -0,486781 -0,486597 -0,592962 -0,627343 -0,52724

 



Затем, исследовали пленку (AlSiTi)N на атомно-силовом микроскопе Ntegra Aura 3-еч областей и с помощью image analysis статистически проанализировать поверхность.

 

 

Область №1 Область №2

 

Область №3 Область №4

 

Область №5 Область №6

 

Рисунок 13. Области 1,2,3,4,5,6

 

 

Таблица 5 - Сбор статистических по поверхности второго образца

 

(AlSiTi)C:H Область №1 Область №2 Область №3 Область №4 Область №5 Область №6 Среднее
Параметры
Число точек по осям X, Y
Максимальная высота, nm 36,9609 33,6859 41,1717 35,0895 24,0012 26,8552 32,96073
Минимальная высота, nm
Размах высот, nm 36,9609 33,6859 41,1717 35,0895 24,0012 25,2644 32,6956
Шероховатость, nm 18,0126 16,188 20,8666 16,8897 12,3843 14,2651 16,43438
Средняя высота, nm 16,929 9,94023 20,5203 14,4591 9,28068 9,97657 13,51765
Cредняя шероховатость, nm 4,73297 3,08583 4,64744 3,15713 2,2064 2,08556 3,319222
Второй момент 17,9127 10,7672 21,3257 15,0259 9,69025 10,3267 14,17474
Cредняя квадратичная шероховатость, nm 5,85439 4,13827 5,80559 4,08797 2,78745 2,66618 4,223308
Ассиметрия -0,189396 1,09286 -0,220177 0,302046 0,391233 0,600221 0,329465
Эксцесс -0,116849 2,43858 0,180845 1,12706 1,00591 1,77932 1,069144
Энтропия 5,65479 5,0652 5,62957 5,13862 7,88322 7,80341 6,195802
Избыточность -0,0778337 0,0099836 -0,0428609 0,00674439 -0,697534 -0,655004 -0,24275

 




mylektsii.ru - Мои Лекции - 2015-2019 год. (0.007 сек.)Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав Пожаловаться на материал