Разработка документации на комплект фотошаблонов для производства ИМС.

Исходя из окончательного и проверочного варианта топологии ИМС, выполняют чертежи слоев схемы, необходимые для создания комплекта фотошаблонов. Для ИМС со скрытым слоем и изоляцией элементов p-n-переходами, изготовляемой по планарно-эпитаксиальной технологии, необходим комплект из семи фотошаблонов для проведения следующих фотолитографических операций:

1– вскрытия окон в окисле под локальную диффузию донорной примеси при создании скрытых слоев перед операцией эпитаксии;

2 – вскрытия окон в окисле под разделительную диффузию акцепторной примеси при создании изолирующих областей;

3 – вскрытия окон в окисле под локальную диффузию акцепторной примеси при создании базовой области транзисторов и резисторов;

4 – вскрытия окон в окисле под локальную диффузию донорной примеси при создании эмиттерных областей транзисторов, резисторов, диффузионных перемычек и приконтактных областей в коллекторах транзисторов;

5 – вскрытия окон в окисле под контакты разводки к элементам ИМС;

6 – фотолитографии по пленке алюминия для создания рисунка разводки и контактных площадок;

7 – фотолитографии по пленке защитного диэлектрика для вскрытия окон к контактным площадкам ИМС.

Рекомендуемый список литературных источников для выполнения курсового проекта

1. Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок: Учебник для вузов. - М.: Радио и связь, 1989.–400 с.

2. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. 2-изд., перераб. и доп. - М.: Радио и связь, 1987.

3. Матсон Э.А. Конструкции и технология микросхем: Учебн. пособие. - Мн.: Выш. шк., 1985.

4. Бер А.Ю., Минскер Ф.Е. Сборка полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.–М.: Высш. шк., 1986.–279 с.

5. Достанко А.П. Технология интегральных схем. - Мн.: Высш. шк., 1982.–206 с.

6. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. – М.: Радио и связь, 1991.–528 с.

7. Парфенов О.Д. Технология микросхем: Учебн. пособие для вузов. – Высш. шк., 1986.

8. Конструирование и технология микросхем. Курсовое проектирование: Учебное пособие для вузов/ Л.А. Коледов и др.; Под ред. Л.А. Коледова. – М.: Высш. шк., 1984.

9. Матсон Э.А., Крыжановский Д.В. Справочное пособие по конструированию микросхем. – Мн.: Выш. шк., 1982.

10. Микроэлектроника: Учебн. пособие для втузов. В 9 кн./Под ред. Л.А. Коледова. Кн. 5: Качество и надежность интегральных микросхем/ И.Я. Козырь. – М.: Высш. шк., 1987.

11. Болванович Э.И. Полупроводниковые пленки и миниатюрные измерительные преобразователи.– Мн.: Наука и техника, 1981.–214 с.

12. Березин А.С. Мочалкина О.Р. Технология и конструирование ИМС: Учебн. пособие для вузов. - М.: Радио и связь, 1983.–232 с..

13. Пономарев М.Ф. Конструкции и расчет микросхем, и микроэлементы ЭВА: Учебник для вузов. - М.: Радио и связь, 1982.

14. Методические указания к курсовому проектированию по курсу «Проектирование и производство интегральных микросхем»/Р.А. Бейлина и др. - Новополоцк.: ПГУ, 1996.

15. Лабораторный практикум по курсу «Проектирование и производство интегральных микросхем» / А.В. Будник, В.Е. Галузо. – М.: БГУИР, 1998.

16. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн. Кн. 5. Термические процессы / С.Н. Никифорова-Денисова, Е.Н. Любушкин.– М.: Высш. шк., 1989.–96 с.

17. Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры: Учебник для вузов / К.И. Билибин, А.И. Власов, Л.З. Журавлева и др. Под общ. ред. В.А. Шахнова. — М; Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002. — 528 с.: ил. — (Сер. Информатика в техническом университете.)

18. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. – М.: Высш. школа, 1975.–342с.: ил.

19. Романова М. П. Проектирование и технология микросхем: учебное пособие / М. П. Романова. – Ульяновск: УлГТУ, 2005. – 83 с.

20. Романова М. П. Сборка и монтаж интегральных микросхем: учебное пособие / М. П. Романова. – Ульяновск: УлГТУ, 2008. – 95 с.

21. Шелохвостов В.П. Проектирование интегральных микросхем: учеб. пособие / В.П. Шелохвостов, В.Н. Чернышов. – 2-е изд., стер. – Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2008. – 208 с.

22. Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок: Учебное пособие. 3-е изд., стер.–СПб.: Издательство «Лань», 2009.–400 с.: ил.– (Учебники для вузов. Специальная литература).

23. Романова, М. П. Проектирование гибридно-пленочных интегральных микросхем: учебное пособие / М. П. Романова. – Ульяновск: УлГТУ, 2006. – 73 c.

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ЛИТЕРАТУРНЫХ ИСТОЧНИКОВ

1. Матсон Э.А. и др. Конструкции и расчет микросхем и микроэлементов ЭВА: [Учеб. пособие для радиотехн. спец. вузов]. – Мн.: Выш. школа, 1979. – 192 с.: ил.

2. Москатов Е.А. Справочник по полупроводниковым приборам. - М.: Журнал " Радио", 2005. - 208с., ил.

3 Методические указания к курсовому проектированию по курсу «Проектирование и производство интегральных микросхем»/Р.А. Бейлина и др. - Новополоцк.: ПГУ, 1996.

4 Конструирование и технология микросхем. Курсовое проектирование: Учебное пособие для вузов/ Л.А. Коледов и др.; Под ред. Л.А. Коледова. – М.: Высш. шк., 1984.

5 Романова М. П. Сборка и монтаж интегральных микросхем: учебное пособие / М. П. Романова. – Ульяновск: УлГТУ, 2008. – 95 с.

6 Шелохвостов В.П. Проектирование интегральных микросхем: учеб. пособие / В.П. Шелохвостов, В.Н. Чернышов. – 2-е изд., стер. – Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2008. – 208 с.