Студопедия

Главная страница Случайная страница

Разделы сайта

АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника






Включение катода и получение изображения.






Включение и получение рабочего вакуума.

1.1. Включить питание микроскопа 3ф выключателем на ШС синей комнаты.

1.2. Нажать кнопку ON на пульте микроскопа (зеленая).

1.3. Включить форвакуумный насос, нажав кнопку Chamber vacuum на пульте управления вакуумной системой и качать 3-5 мин.

1.4. Включить тумблер «ВКЛЮЧЕНИЕ ЗАТВОРА» и затем нажать кнопку «Открыть затвор», удерживая ее не менее 5 секунд. Через 30-40 секунд откроется затвор.

1.5. Подождать несколько минут и выключить форвакуумный насос, нажав кнопку Chamber vacuum на пульте управления вакуумной системой. Произойдет напуск воздуха в камеру.

1.6. Открыть камеру и установить образцы, не вынимая столика из камеры.

1.7. Включить форвакуумный насос, нажав кнопку Chamber vacuum на пульте управления вакуумной системой.

1.8. Включить термопарный вакуумметр и дождаться значения больше 1.

1.9. Включить турбомалекулярный насос, нажав правую кнопку на пульте насоса (на пульте турбомолекулярного насоса включить режим 309 кнопкой выбора режима).

1.10. Подождать 5-7 минут пока разгоняется турбомолекулярный насос. После открыть затворы на колонне.

1.11. Ждать 1, 5 часа для откачки камеры и колонны до рабочего давления. После микроскоп готов к работе.

1.12. Включить компьютер и на рабочем столе открыть папку Test_BC. В этой папке выбрать папку Cambr→ Cambridge4.

Дляизготовления диалектрических квадратов под верхний затвор нужно выставить следующие параметры в открывшейся программе:

Magn = 200

U (kV) = 25

I (pA) = 600 (по показаниям пикоамперметра должно быть 6, 4 нА)

Hatch stp = 4

Загрузить в программу файл «Диэлектрические квадраты». Выделить появившийся квадрат. Нажать правой кнопкой мыши на квадрате и нажать hatch gor, чтобы заштриховать квадрат.

n = 10, Dose = 16485

1.13. Включить плату в розетку у щитка 220В за микроскопом.

1.14. Включить Keithley 6484, находящийся слева от колонны микроскопа (это необходимо для слежения за показаниями тока катода).

 

Включение катода и получение изображения.

После достижения рабочего вакуума выполните следующие операции:

2.1. Проверить, что нажаты кнопки ACCELERATION VOLTAGE 25 и High (кнопки находятся справа на панели управления).

2.2. Проверить, что тумблер EMISSION IMAGE – GUN ALIGNMENT в нижнем положении GUN ALIGNMENT.

2.3. Нажать кнопку OPERATE. Подождать 30 секунд. Должен появиться растр. Если растр невиден, выключить кнопку OPERATE, увеличить яркость ручкой Visual Bri и проверить положение всех переключателей, после чего вновь нажать кнопку OPERATE.

2.4. Нажать кнопку BEAM.

2.5. Медленно увеличивать накал катода, вращая ручку Filament, пока не погаснет красная лампочка Fail. Должна появиться картинка.

2.6. Переключить тумблер EMISSION IMAGE– GUN ALIGNMENT в верхнее положение EMISSION IMAGE, и продолжая медленно вращать ручку Filament добиться четкого пятна второго максимума.

2.7. Переключить тумблер EMISSION IMAGE– GUN ALIGNMENT в нижнеем положении GUN ALIGNMENT.

2.8. Встать в цилиндр Фарадея и сделать достаточно большое увеличение ручкой MAGNIFICATION – Change, повернув ее по часовой стрелке. (Цилиндр Фарадея находится слева от винта лапки).

2.9. Установите нужный ток ручкой RESOLUTION Fine (значения тока отслеживаются по Keithley 6484). Если не удастся достичь требуемого тока, то нужно переключить ручку RESOLUTION Coarse и снова вращать Fine. После установки тока подождать 10 минут и проверить еще раз ток.

2.10. Перейти на маленькое увеличение, вращая ручку MAGNIFICATION – Change против часовой стрелки и перейти к пластине.

2.11. Настроить на пластине фокус ручками FOCUS – Fine или Medium.

2.12. Настроить стигму ручками STIGMATORS – X и – Y. После получения хорошего изображения выбрать нужную область для рисования.

2.13. Нажать кнопку ENABLE/DISABLE в верхней строке программы для рисования, чтобы переключиться на плату или отключиться от нее.

2.14. Проверить параметры программы для рисования (ток, увеличение, дозы, штриховку) и нажать Draw-OK.

В момент рисования следить за параметрами тока. Если ток стал очень маленький и загорелась лампочка Beam – Fail, следовательно погас катод. Тогда:

- Выведите ручку Filament в минимум;

- Отожмите кнопку BEAM;

- Выведите ручку MAGNIFICATION – Change в минимальное положение;

- Переключите в программе кнопку ENABLE/DISABLE.

После этого должен быть виден растр. Если он не виден, то повторите пункты 2.4-2.14. Если не удается получить картинку (лампочка Beam – Fail не гаснет), то требуется сменить катод.






© 2023 :: MyLektsii.ru :: Мои Лекции
Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав.
Копирование текстов разрешено только с указанием индексируемой ссылки на источник.