Экспериментальная установка. Лабораторная установка представляет собой промышленный микроинтерферометр МИИ-4М.

Лабораторная установка представляет собой промышленный микроинтерферометр МИИ-4М.

Упрощённая оптическая схема установки приведена на рис.5. Она содержит следующие элементы:

1 - источник света, в качестве которого используется галогенная лампа расположенная в выносном блоке;

2 - светофильтр для получения монохроматического излучения с длиной волны λ = 0, 532 мкм;

3 - светоделитель, в качестве которого используется стеклянный куб с полупрозрачным зеркальным слоем;

4 - полупрозрачное зеркало, расположенное по диагонали стеклянного куба;

5 - объектив;

6 - исследуемая поверхность;

7 - окуляр, через который наблюдают исследуемую поверхность и интерференционную картину;

8 - вспомогательный объектив;

9 - эталонное зеркало, установленное с возможностью плавного малого изменения угла наклона поверхности по двум координатам.

Свет от источника (1) (рис. 5) попадает на светоделитель (3), представляющий собой стеклянный куб, внутри которого находится полупрозрачный слой (4). Полупрозрачный слой делит исходный пучок на два: первый – отраженный – проходит через объектив (5), отражается от исследуемой поверхности (6) назад, и снова пройдя через светоделитель, попадает в окуляр (7); второй, прошедший через вспомогательный объектив (8), попадает на зеркало (9), отражается назад и от полупрозрачного слоя (4) проходит в окуляр (7). Таким образом, через окуляр (7) наблюдается плоскость изображения (10), в которой складываются два когерентных пучка, имеющие оптическую разность хода , определяемую высотой неровностей и углом наклона исследуемой поверхности относительно зеркала.

Рис.5. Оптическая схема микроинтерферометра

Внешний вид прибора представлен на рис.6.

Рис.6. Внешний вид прибора.