Схема и принцип работы растрового электронного микроскопа. Схема детектора Эверхарта-Торнли. Особенности изображений в РЭМ по сравнению с оптической микроскопией.

тонкий электронный зонд (электронный пучок) направляется на анализируемый образец. В результате взаимодействия между электронным зондом и образцом генерируются низкоэнергетичные вторичные электроны, которые собираются детектором вторичных электронов. Интенсивность электрического сигнала детектора зависит как от природы образца (в меньшей степени), так и от топографии (в большей степени) образца в области взаимодействия. Таким образом, сканируя электронным пучком поверхность объекта возможно получить карту рельефа проанализированной зоны.

Тонкий электронный зонд генерируется электронной пушкой, которая играет роль источника электронов, и фокусируется электронными линзами (обычно электромагнитными, иногда электростатическими). Сканирующие катушки отклоняют зонд в двух взаимоперпендикулярных направлениях, сканируя поверхность образца зондом, подобно сканированию электронным пучком экрана электронно-лучевой трубки телевизора. Источник электронов, электронные линзы (обычно тороидальные магнитные) и отклоняющие катушки образуют систему, называемую электронной колонной.

Основные типы сигналов, которые генерируются и детектируются в процессе работы РЭМ:

· вторичные электроны (ВЭ, режим рельефа)

· отражённые электроны (ОЭ, режим контраста по среднему атомному номеру, а так же режим рельефа)

· прошедшие через образец электроны, в случае установленной STEM-приставки (чаще используется для исследования органических объектов)

· дифракции отражённых электронов (ДОЭ)

· потери тока на образце (ПЭ или детектор поглощенных электронов)

· ток, прошедший через образец (ТЭ или детектор прошедших электронов)

· характеристическое рентгеновское излучение (Рентгеноспектральный анализ)

· световой сигнал (КЛ или катодолюминесценция).