Контакты пленочных датчиков наносят испарением в вакууме.

Для стабилизации параметров готовую пленку в течение несколь­ких часов подвергают термостарению при температуре 100° С. Пленочные датчики тоньше пластиночных. Их толщина определяется в основном подложкой. Преимуществом их является высокое сопротивление, что удобно при согласовании с нагрузкой.

Получили развитие два новых прогрессивных метода изготовления датчиков Холла. Это метод диффузии, примеси я метод эпитаксиального выращивания. Оба эти метода широко применяют при изготовле­нии диодов и транзисторов.

Посредством диффузии примеси на материале p-типа образуется p - n-переход. На диффузионном n-слое размещаются электроды, а p- n-переход служит изолирующим слоем (рис. 4).

При эпитаксиальном выращи­вании подложкой может быть как монокристаллическая пластина то­го же материала, так и изоляцион­ные материалы.

Датчики Холла, полученные этими методами, имеют преиму­щества монокристаллических дат­чиков (высокий коэффициент Хол­ла и хорошую стабильность) и преимущества пленочных (высо­кую чувствительность). Толщина рабочего слоя у них не более, чем у пленочных.

Для защиты от механических и климатических воздействий изготовленный датчик покрывают синтетической смолой и приклеивают к изоляционной подложке или помещают в бронзовый корпус. Послед­ний способствует отводу от датчика тепла.

На рис. 5 приведено несколько конструктивных исполнений дат­чика Холла. На рис. 5, апоказан датчик, выпускаемый без кор­пуса и подлежащий заливке компаундом после установки в воздушный зазор магнитопровода. На рис. 5, в приведен датчик с оболочкой из эпоксидной смолы. На рис. 5, бпоказан датчик, заключенный в ферритовую оболочку с симметричной магнитной системой.

Ферритовое основание 1 и крышка 4имеют одинаковые размеры. Полупроводниковая пластина 6наклеена прямо на ферритовое осно­вание. Ферритовый стержень 3концентрирует магнитный поток на по­верхность датчика. Стенки 5и 2выполнены из немагнитного материала и обеспечивают необходимый зазор между ферритовым стержнем и по­лупроводниковой пластиной (обычно 2—3 мкм).

На основе эффекта Холла можно создать ряд устройств и прибо­ров, обладающих ценными и даже уникальными свойствами и занимаю­щих важное место в измерительной технике, автоматике, радиотехни­ке и т. д.

Так как э. д. с. Холла пропорциональна току I и индукции магнит­ного поля, то при постоянной величине тока величина э. д. с. будет про­порциональна только индукции магнитного поля. Это позволяет ис­пользовать датчики Холла для измерения индукции магнитных полей.

Одним из приборов, в которых используется это свойство, являет­ся магнитометр, измеряющий как малые, так и большие поля (10 — 10б А/м).

Кроме того, датчики э. д. с. Холла применяют для измерения токов и мощностей. Если поддерживать постоянной напряженность магнит­ного поля, то э. д. с. Холла будет изменяться пропорционально величине тока, протекающего через датчик. Если датчик Холла поместить в магнитное поле, пропорциональное протекающему через нагрузку то­ку, и на вход его подать напряжение, пропорциональное напряжению на нагрузке, то э. д. с. Холла будет пропорциональна мощности, выде­ляемой в нагрузке.