Проведение вычислений.

4.3.1. Измерить длину прямолинейных участков резистора и вычислить их суммарную длину.

4.3.2. Подсчитать число прямоугольных участков и изгибов конфигурации резистора.

4.3.3. Вычислить удельное поверхностное сопротивление материала резистора по формуле:

(Ом/ ),

где - сопротивление резистора (Ом)

- число круглых изгибов

-число прямоугольных изгибов

- суммарная длина прямолинейных участков

- ширина резистора.

и - радиусы скругления (см. рис.3б)

4.3.4. На основании полученной величины определите материал резистора по данным табл.1.

4.3.5. Определить площадь резисторов, по удельной мощности рассеяния для найденного материала (таблица 1) рассчитать максимально допустимую мощность рассеяния каждого резистора.

5. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЁТА О РАБОТЕ

Отчёт о лабораторной работе должен содержать:

- чертежи исследованных резисторов

- расчёт величины удельного поверхностного сопротивления резистора

- определение материала резистора

- расчёт максимально допустимой мощности рассеяния каждого исследованного резистора.

6. КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ

1. Что такое удельное поверхностное сопротивление?

2. Почему объемное удельное сопротивление тонких плёнок зависит от их толщины?

3. Как рассчитывается сопротивление резистора, имеющего изгибы?

4. Какими параметрами характеризуется резистор?

5. Как можно стабилизировать сопротивление резистора?

6. Какие материалы используются для изготовления тонкоплёночных резисторов?

7. ЛИТЕРАТУРА

1. Г.И.Богдан, М.М.Некрасов. Плёночная электроника и полупроводниковые интегральные микросхемы, Киев, Вища школа, 1979, с.170-173.

2. И.П.Бушминский, Г.В.Морозов. Технология гибридных интегральных схем СВЧ. М., Высшая школа, 1980, с.59-68.

3. З.Ю.Готра, Э.М.Мушкарден, Л.М.Смеркло. Технологические основы гибридных интегральных схем, Львов. Вища школа, 1977, с.61-76.

4. Л.С.Палатник, В.К.Сорокин. Материаловедение в микроэлектронике, М., Энергия, 1978, с.181-196.

5. В.И.Минаков, М.З.Коган. Производство тонкоплёночных микросхем, Л., Энергия, 1973, с. 32-39.