Студопедия

Главная страница Случайная страница

Разделы сайта

АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника






Результаты практических измерений

Вид структуры

1. Поликристаллический кремний осаждается на установке осаждения при пониженном давлении (0.45 мкм).

2. Окисел кремния наращивается для планаризации по затвору.

3. Напыление алюминия проводится с помощью системы диффузионной однозонной для первого уровня металлизации (1.1 мкм).

4. n+ - исток-стоковые области формируются ионной имплантацией фосфора с энергией 40 кэВ и дозой 1000 мкКл/см2 на ионно-лучевой установке.

5. Слой БФСС; Уплотнение БФСС проводится перед фотолитографией “контакт к металлизации” для получения планарной поверхности.

6. Низкотемпературное фосфоросиликатное стекло, наносится для пассивации поверхности (0.6 мкм).

7. Слой нитрида кремния (0.08 мкм).

8. Второй слой ПКК наносится термическим способом (1 мкм).

9. Подзатворный окисел (0.275 мкм); Проводится наращивание окисла кремния борфосфоросиликатного стекла.

10. Локальный окисел выращивается для LOKOS-изоляции при повышенном давлении с использованием маски из нитрида кремния в диффузионной однозонной печи при температуре 1200С в течении 8-и часов в атмосфере аргона (1 мкм).

11. Третий слой ПКК напыляется термическим способом на установке напыления (1.2 мкм).

12. Проводится формирование исток-стоковых n+ областей ионной имплантацией фосфора.

13. p+-область " охрана" формируется ионной имплантацией бора.

14. Пластина ЗАЗ КЭФ 1/0, 2 - 150 с эпитаксиальным слоем.

Результаты практических измерений

 

1. Утечка подзатворного диэлектрика

 

Таблица 1

I, мА I, мА
  149, 71   149, 71
  96, 43   129, 51
  96, 11   117, 3
  94, 78   155, 51
  98, 52   155, 36
  153, 64   101, 31
  154, 47   97, 48
  120, 53   95, 37
  138, 96   94, 82
  124, 95   105, 51

 

 

Рисунок 1

 

Как видно из Рисунка 1, гистограмма по практическим значениям значительно отличается от гистограммы по теоретическим значениям.

 

Рекомендации:

 

 

2. Утечка Al-ПКК3

 

Таблица 2

I, мА I, мА
  59, 87   89, 03
  60, 05   64, 42
  85, 06   97, 68
      91, 50
  91, 51   116, 88
  50, 68   95, 08
  104, 21   119, 89
  95, 55   67, 06
  103, 93   97, 33
  99, 57   70, 70

 

Рисунок 2

Как видно из Рисунка 2, гистограмма по практическим значениям также отличается от гистограммы по теоретическим значениям.

 

Рекомендации:

 

 

<== предыдущая лекция | следующая лекция ==>
Темы контрольных работ. Необходимым этапом самостоятельной работы над программным материалом является выполнение контрольной работы по предложенному варианту. | Моя глубочайшая благодарность.




© 2023 :: MyLektsii.ru :: Мои Лекции
Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав.
Копирование текстов разрешено только с указанием индексируемой ссылки на источник.