Обладнання для шліфування і і полірування.

За типом використовуваного інструменту сучасні верстати шліфування поділяються на дві основні групи: зі шліфуванням вільним абразивом - абразивної суспензією і зі шліфуванням пов'язаним абразивом - алмазними абразивними колами.

Верстати першої групи діляться на верстати з одно-і двухторонюю обробкою. Для усунення клиноподібності та отримання пластин високої площинності після розпилювання доцільно

застосовувати верстати двостороннього шліфування ЮФ7219,

ІО - 19006, СДШ - 100 і СДП- 100. Головний конструктивної особливістю цих верстатів є планетарний механізм (рис. 2.10), забезпечує планетарний рух сепараторів 2 з укладеними в їх отвори кремнієвими пластинами між верхнім 5 і нижнім 4 шліфувальниками. Сепаратори входять в зачеплення з внутрішньої 3 та зовнішньої 1 провідними шестернями. Кінематична схема верстата двостороннього шліфування показана на рис. 2.11. Привід верстата здійснюється від електродвигуна М, через змінну пару шестерень 5, черв'ячну пару 4 і обгону муфту 3. Далі через перебір 2 обертання передається на зовнішню 1 і внутрішню 6 провідні шестерні. Верхній шліфувальник 8 закріплений на кришці що підіймається, з дозатора 9 через отвори в шліфувальника в зону обробки подається абразивна суспензія.

Шліфувальники в процесі обробки зношуються нерівномірно, тому через певні проміжки часу контролюють їх поверхні. Контроль здійснюють лінійкою на просвіт і при необхідності роблять правку і притирання шліфувальника. Для підвищення рівномірності зносу в деяких верстатах, наприклад СДП- 100, передбачається обертання нижнього шліфувальника 7.

Верстати шліфування пов'язаним абразивом виробляють односторонню обробку пластин і поділяються на верстати плоского і врізного шліфування. У верстатах плоского шліфування (СПШ-1, СПШП-1, МШ-259) абразивний диск торцем притискається до пластини вагою шпинделя, у верстатах врізного шліфування (САШ-420М, САШ-100, САШ-150) шпинделі з алмазними колами чашкового типу (АЧК) жорстко встановлені на заданій висоті і при обробці знімають пропуск, врізаючись в пластину.

Кінематична схема верстата САШ - 420М наведена на рис. 2.12. На верхній частині литий масивної станини змонтовані шпинделі зі шліфувальними колами, на нижній - карусель з приводом.

Карусель 8 виконана у вигляді плоского наполегливої ​ ​ трирядного

кулькового підшипника, нижнє кільце якого спирається на чотири регульовані по висоті опори 11. Привід каруселі здійснюється від електродвигуна 10 через ремінну передачу і черв'ячну пару. На карусель встановлюються змінні корпуси 12 з вакуумними присосками, на яких закріплюються оброблювані пластини 7. Відкачування присосок здійснюється вакуумним агрегатом 9, що складається з двох форвакуумних насосів ВНЗ. Робоча зона каруселі закрита знімною кришкою з органічного скла. Частота обертання каруселі 0, 5... 5 хв -1.

Шпиндель являє собою циліндр 3, що переміщається в станині на кулькових направляючих 2. На зовнішній поверхні циліндра нарізана трапецеїдальний різьба, укрученими в гайку черв'ячного колеса 4. Подача шпинделя по висоті здійснюється вручну маховиком 5 через черв'ячну пару або автоматично від електродвигуна 6. Для попередньої вибірки всіх

осьових зазорів шпиндель відтягується вгору противагою 1, вага якого на 250... 350 Н більше, ніж вага рухомої частини шпинделя. Усередині циліндра 3 на високоточних кулькових радіально-упорних підшипниках встановлено вал шпинделя 14, на якому закріплений чашкове алмазний коло 13. Вал приводиться в обертання через відцентрову м'яку муфту 15 електродвигуном 16 типу П -42, що живиться струмом високої частоти. Частота обертання шпинделя становить 9000... 14000 хв-1. мастило опор шпинделів здійснюється масляним туманом, який створюється всередині станини спеціальним пристроєм. У нижній частині шпинделя є пристрій для подачі охолоджуючої рідини в зону шліфування через внутрішню порожнину чашкового алмазного кола. Відводиться охолоджуюча рідина з верхньої плити станини.

У верстатах плоского шліфування ШПШ -1, СПШП -1, МШ259

шпинделі мають частоту обертання близько 3000 хв -1, карусель - 200... 400 хв-1. Пластини зазвичай наклеюються на блоки, установлені на карусель. Алмазний коло притискається до пластин вагою шпинделя. У зону обробки подається змащуючи охолоджуюча рідина. У новому поколінні верстатів цього типу можлива установка пластин на вакуумні присоски. Так, в верстаті MRS - R600 фірми Georg Mü ller (ФРН) стіл має вакуумні присоски по всій його площі, що дозволяє різко збільшити число завантажених пластин і відповідно продуктивність верстата. При діаметрі столу 600 мм одночасно завантажується 36 пластин діаметром 75 мм. Діаметр шліфувального круга складають 300 мм.