Общая характеристика. Физико-химические методы получения вакуума позволяют в определенном диапазоне рабочих давлений создавать насосы с лучшими

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА

Физико-химические методы получения вакуума позволяют в определенном диапазоне рабочих давлений создавать насосы с лучшими, чем у механических, технико-экономическими показателями. Существенное преимущество физико-химических насосов перед механическими заключается в возможности устранения загрязнения откачиваемой камеры парами рабочих жидкостей, которые применяются для смазки и герметизации во многих механических насосах.

Направленное движение предварительно заряженных молекул газа под действием электрического поля является основой работы ионных насосов. Испарительные насосы работают на принципе хемосорбции. Физическая адсорбция и конденсация используются для откачки газов криосорбционными насосами: криоадсорбционными и криоконденсационными.

В связи с тем, что теплота конденсации обычно меньше теплоты адсорбции, конденсация одного и того же количества газа наблюдается при более низких температурах, чем адсорбция, что делает техническую реализацию криогенной системы криоконденсационного насоса более сложной, чем криоадсорбционного. Преимуществом конденсационной откачки перед адсорбционной является большая быстрота откачки на единицу площади охлаждаемой поверхности.

Принцип ионной откачки совместно с сорбционным используется в конструкциях ионно-сорбционных насосов. Диапазоны рабочих давлений промышленных и лабораторных образцов насосов, работающих на принципах физико-химической откачки, показаны на рисунке 1.

Рисунок 1 - Диапазоны рабочих давлений физико-химических методов откачки: ^___промышленные образцы; -----лабораторные образцы