Расчет времени откачки вакуумной камеры

Расчетная часть

Расчет времени откачки вакуумной камеры

Определить границу Р_{в.м – в.} между вязкостным и молекулярно- вязкостным режимами:

Определить границу Р_{в.м – в.} молекулярно-вязкостным и молекулярным режимами:

Диапазон давлений от начального Р_н до конечного Р_к по участкам:

Суммарный откачиваемый объем:

,

где: V_i — объем элементов вакуумной системы;
V_ои — объем объекта испытания.

Эффективная быстрота откачки:

Длительность откачки t в диапазоне Δ 1:

Среднее давления Р₂ в диапазоне Δ 2:

Эффективная длина трубопровода:

Проводимость трубопровода:

Эффективная быстрота откачки:

Время откачки:

Среднее давление P₃ в диапазоне Δ 3:

Проводимость трубопровода:

Эффективная быстрота откачки:

Время откачки:

Поток газов Q_ОИ, выделяющихся с поверхности объекта испытания, при этом величину удельного газоотделения берем после одного часа откачки:

,
где q=2, 4∙ 10^-5 м³Па/м²с — скорость удельного газоотделения для нержавеющей стали после 1 часа откачки:

Поток газа с поверхности вакуумной камеры, оборудования внутри камеры, элементов крепления:

_,

где: q – скорость удельного газоотделения для стали после одного часа откачки.

Поток газа с поверхности резиновых уплотнений:

,

где: — скорость удельного газоотделения вакуумной резины 7889.

Поток газа с патрубка:

Поток газа с затвора:

Поток газа через уплотнения:

Суммарный газовый поток, поступающий в вакуумную камеру:

Время откачки с учетом остаточного давления механического насоса:

Время откачки механическим насосом:

Время откачки t₄ высоковакуумным паромасляным насосом:

Суммарная длительность откачки вакуумной системы механическим и паромасляным насосами: