Введение. Основой современной электроники являются достижения в различных областях фундаментальных наук, в первую очередь в области физики твёрдого тела

Основой современной электроники являются достижения в различных областях фундаментальных наук, в первую очередь в области физики твёрдого тела, физики полупроводников, а также твердотельной электроники.

В течение нескольких десятилетий повышение функциональной сложности и быстродействия систем достигалось за счет увеличения плотности размещения и уменьшения размера элементов. Однако настало время, когда элементная база, основанная на использовании разнообразных низкоразмерных структур, является наиболее перспективной для электронной техники новых поколений. Так, при переходе к системам нанометрового масштаба начинают проявляться квантовые эффекты (размерное квантование, туннелирование, интерференция электронных состояний и др.), которые будут играть определяющую роль в функционировании приборов на их основе.

Основной целью создания курса лекций является систематизация материала, имеющегося как в широко используемых учебных изданиях, так и в образовательных и научных журналах. Курс лекций включает модуль № 1 «Современные тенденции реализации микро- и наноструктур» и модуль № 2 «Технологические аспекты создания устройств электроники и наноэлектроники». Информационным стержнем читаемой дисциплины является формирование целостной картины состояния электроники и наноэлектроники. Поскольку потенциальные возможности традиционной микроэлектроники исчерпали себя, дальнейшее развитие возможно только на базе принципиально новых физических и технологических идей. Для их правильного восприятия и понимания нужны знания о новейших технологических достижениях в области конструирования на атомном уровне твердотельных поверхностных и многослойных структур с необходимыми свойствами.

Достижения в разработке и изготовлении наноструктур различного назначения в наибольшей степени зависят от уровня развития технологий, которые позволяют с атомной точностью получать наноструктуры необходимой конфигурации и размерности, а также методов комплексной диагностики свойств наноструктур, включая контроль в процессе изготовления и управление на его основе технологическими процессами. Если открытие атомной энергии, создание транзистора и лазера определили облик ХХ в., то именно развитие нанотехнологий, по многим прогнозам, определит облик ХХI в.

С учётом реалий сегодняшнего дня магистр направления подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» должен иметь чёткое представление о задачах, стоящих перед электроникой и наноэлектроникой, и быть готовым к своему посильному участию в их решении.