Принцип роботи установки

Базова центрифуга зображена на рисунку 1.
Закріплення підкладки 1 на столику 2 проводиться вакуумом, що подається через осьовий отвір вала 20, відстійник 9 і штуцер 12.
Електродвигун постійного струму 11 і ремінь 13 забезпечують обертання столика з регульованою частотою в діапазоні 300... 10000 об.^-1. Час розгону до максимального числа оборотів становить 0, 5 ± 0, 1 с. Вал 20 обертається в підшипниках 6 і 17. Стакан 4, в якому закріплено верхній підшипник, пов'язаний з плитою 14 через ряд перехідних втулок і резинометалічний амортизатор 15. У верхній частині стакана 16 закріплений другий амортизатор 19, до якого під час технологічної операції притискається відбивач 3 пастки 5 для збору продуктів обробки. Підшипниковий вузол центрифуги охороняється від впливу рідких реактивів ущільненнями 7 і 18. З’ємний відстійник 9, який закріплюється в нижній частині центрифуги підпружиненним затискачом 8, запобігає потраплянню продуктів обробки у вакуумну систему.
Натяг ременя 13 регулюється за допомогою повороту ексцентричної втулки 10 з електродвигуном 11.
У автоматі гідромеханічної відмивання використовується миючий пристрій, показане на рисунку 2.

Рисунок 1.

Після автоматичного завантаження і фіксації на вакуумному столику 1 центрифуга черговості пластини 5, пастка 3 за допомогою пневмоциліндра 19 переміщується вгору до упору відбивача 2 в амортизатор 4. Верхній торець пастки через кришку 7 стикується з кільцем 8, закріпленому на корпусі 17.
Шток пневмоциліндра 16 і планка 15 йдуть вгору, важіль 12 обертається проти годинникової стрілки (за кресленням), опускаючи щітку 11 в положення відмивання. Щітка обертається від електродвигуна за допомогою пассіка через проміжний ролик (на малюнку не показані). Насадки 9, закріплені за допомогою кронштейна 10 на кільці 8, подають спочатку миючий розчин (синтанол), потім промивання та - спирт, далі деіонізованої воду і газоподібний азот (для сушки пластин). У кришці 7 встановлений відбивач 6, що запобігає попаданню на пластину крапель миючих розчинів, скинутих з неї при центрифугировании.
У порожнину, утворену відбивачем 2 і непланарной стороною пластини, нагнітається азот. Створювана при цьому зона підвищеного тиску перешкоджає попаданню робочих розчинів на зворотну сторону пластини.
Після завершення отчісткі пластини обертання щітки припиняється, шток пневмоциліндра 16 обертає важіль 12 за годинниковою стрілкою, відводячи щітку у вихідне положення. Одночасно ванна 14 повертається за годинниковою стрілкою. Для видалення забруднень із щітки після очищення пластини відбувається підйом щітки в ванну 14, в якій встановлена ​ ​ трубка з отворами для подачі миючого розчину і деионизованной води. Після відводу щітки включається промивка поверхні пластини струменем реактиву, а потім сушка центрифугированием.
У корпусі 17 є порожнина 13, стикується з вентиляційних трубопроводом 18 і відкривається зверху над пластиною, що забезпечує бортовий відсмоктувач продуктів обробки із робочої зони.