Измерения на интерферометре

Измерение глубины канавок (следов от инструмента) можно проводить двумя способами: на глаз и с помощью винтового окулярного микрометра.

При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны быть видны одновременно исследуемая поверхность и интерференционные полосы, изогнутые в местах, где проходят канавки или царапины, причем интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно направлению царапин или рисок.

Приближенное измерение глубины канавок

При измерении глубины царапины или риски на глаз следует определить, на какую долю интервала между полосами или на сколько интервалов изгибается полоса в месте прохождения царапины.

Глубина царапины или риски Н определяется по формуле

, (5)

где – величина изгиба полосы в долях интервала или в числе интервалов;

– длина волны зелёного светофильтра, равная 0, 532 мкм.

Измерение с помощью винтового окулярного микрометра МОВ-1-16^х

Для измерения с помощью окулярного микрометра МОВ-1-16^х следует повернуть его так, чтобы одна из нитей перекрестья совпала с направлением интерференционных полос, а другая с направлением неровностей на исследуемой поверхности. После этого закрепить окулярный микрометр зажимным винтом.

Для определения величины неровности необходимо измерить величину интервала между полосами, величину изгиба полос и вычислить высоту неровности.

Измерение величины интервала между полосами

Величина интервала между полосами выражается числом делений шкалы барабана винтового окулярного микрометра (11) на рис. 6. Для большей точности измерений наводку нити перекрестья сетки микрометра лучше всего производить на середину, а не на край полосы.

На рис.7 показан вид узкой полоски поля зрения интерферометра в увеличенном масштабе и показано правильное расположение горизонтального штриха перекрестья окулярного микрометра при измерении.

N ₁

N ₃

N ₂

N ₄

Рис.7.

Первый отсчет N ₁ (в делениях шкалы барабана микрометра) производится по шкалам винтового окулярного микрометра при совмещении одной из нитей перекрестья подвижной сетки с серединой полосы; затем совмещают эту же нить перекрестья с серединой m – той полосы, находящейся ниже и получают второй отсчет N ₂; при этом необходимо подсчитать и записать число интервалов m между полосами.

Величина интервала между полосами в делениях барабана определяется значением (N ₁ – N ₂) /m.