Изучение поверхности с помощью РЭМ (растрово-электронный микроскоп).

Визуально исследовали поверхность образца (AlSiTi)N

Рисунок 18 - Увеличение в 1000 раз

Рисунок 19 - Увеличение в 5000 раз

Визуально исследовали поверхность второго образца (AlSiTi)C: H.

Рисунок 20 - Увеличение в 1000 раз

Рисунок 21 - Увеличение в 5000 раз

Заключение

Сравнением полученных статистических данных по рельефу образцов (AlSiTi)N и (AlSITI)C: H, мы выяснили, что у первой пленки:

− существенно выше средние показатели высоты и шероховатость поверхности;

− поверхность не симметрична, в отличии от (AlSiTi)C: H, в котором ассиметрия равна нулю.

На показатели сильно влияет инертный газ, в котором напыляли пленку на образцы. В первом случае – азот, во втором - углеводород. Благодаря азоту, скорость роста выше, чем в углеводороной среде

Полученные с помощью показатели, свидетельствуют, что (AlSiTi)N самый износостойкий материал. То, что у него самые высокие средние показатели высоты, шероховатости, имеется не симметричность поверхности и это связано со значениями индекса пластичности, пластической деформации и коэффициента упругого восстановления.