Плазменные технологии нанесения покрытий

Введение 396

1. Основы кристаллографии и дефекты в металлах 397

1.1 Элементы симметрии 397

1.2 Дислокации в материалах 398

1.3 Нульмерные дефекты 402

1.4 Радиационные дефекты 404

1.5 Двойникование, скольжение, поверхности раздела 404

2. Физические особенности формирования плазмы 407

3. Классификация плазменных технологий 414

4. Свойства тугоплавких металлов и их соединений 418

5. Технологические возможности современных методов

повышения свойств материалов 421

6. Влияние эффективности плазменных технологий

надёжности работы оборудования 424

7. Технико-экономические показатели использования

плазменных технологий 427

9. Нанесение покрытий по технологии катодного

распыления 430

9.1 Физические особенности ионного распыления 430

9.2 Особенности технологии катодного распыления

при получении покрытий 442

9.2.1 Диодная система 445

9.2.2 Триодная и тетродная системы 447

9.2.3 Высокочастотные распылительные системы 448

9.2.4 Магнетронные распылительные системы 445

10. Ионное легирование материалов 474

10.1 Физические особенности ионного легирования 474

10.2 Особенности технологии ионного легирования 477

10.2.1 Процесс аморфизации 478

10.2.2 Ионное распыление поверхности мишени 479

10.2.3 Нагрев материала мишени 480

10.2.4 Отжиг ионно-легированных слоёв 481

10.5 Характеристика и особенности технологического

оборудования для ионного легирования 483

11. Осаждение покрытий из сепарированных

ионных источников 492

11.1 Особенности метода 492

11.2 Оборудование и технология ионно-лучевого осаждения

покрытий из сепарированных источников 493

12. Ионная имплантация 496

21.1 Особенности метода 496

12.2 Имплантационная металлургия равновесных сплавов 502

12.3 Имплантационная металлургия метастабильных сплавов 508

13. Вакуумная ионно-плазменная технология

нанесения покрытий 515

13.1 Особенности и классификация метода 516

13.2 Назначение и особенности основных

технологически операций 526

13.2.1 Очистка поверхности плазмой тлеющего разряда 526

13.3 Особенности и назначение ионной бомбардировки 531

14. Однослойные покрытия нитридами тугоплавких металлов 537

15. Технологические возможности осаждения

плазменных покрытий 540

15.1 Процессы на подложке 540

15.2 Процессы на аноде испарителе 544

15.3 Капельная фаза эрозии катода 545

15.4 Методы сепарации капельной фазы в составе покрытий 549

15.5 Влияние на свойства покрытий геометрии

размещения деталей 551

16. Ионно-плазменные покрытия сложного состава 553

17. Методы оптимизации ионно-плазменных покрытий 558

18. Ионно-плазменные покрытия на инструментальных сталях 562

19. Антикоррозионные ионно-плазменные покрытия 573

19.1 Основы теории коррозии 573

19.2 Сероводородная коррозия 578

19.3 Дефекты в металлах и их влияние на качество покрытий 579

19.4 Механические и коррозионные свойства

деталей с покрытиями 581

19.5 Коррозионные испытания конструкционных сталей

с ионно-плазменными покрытиями 583

20. Технологическое оборудование нанесения

ионно-плазменных покрытий 595

20.1 Основные требования к вакуумным дуговым испарителям 595

20.2 Технологические установки осаждения покрытий 600

Литература 615